压电驱动的可变形反射镜及其制造方法

摘要

一种光学器件技术领域的压电驱动的可变形反射镜及其制造方法。本发明反射镜中，底座的上面是四个PZT压电驱动器，在四个PZT压电驱动器上面键合了带有四个支撑柱的硅反射镜面，硅反射镜面的边框与底座相连，当施加可调节的电压时，PZT压电驱动器产生的法向压电力使硅反射镜面的中心部分发生板形变最大，形成一个凹凸面。制造方法包括：①带四个支撑柱的硅反射镜面部分的制作工艺；②底座部分的制作工艺；③PZT压电驱动器的制作工艺及Si-Au共晶合金键合。本发明可变形反射镜是由法向压电力来驱动的，只需通过改变施加的外加电压的大小就可快速准确的调节微反射镜焦点，比以往的微反射镜结构更简单，更容易阵列化和变焦控制。

主权项

1.一种压电驱动的可变形反射镜，包括：带四个支撑柱的硅反射镜面、四个PZT压电驱动器、底座，其特征在于，底座由玻璃基板和硅基板键合而成，位于整个反射镜的最下面，底座的上面是四个PZT压电驱动器，在四个PZT压电驱动器上面键合了带有四个支撑柱的硅反射镜面，硅反射镜面的边框与底座相连，当施加可调节的电压时，PZT压电驱动器产生的法向压电力使硅反射镜面的中心部分发生板形变最大，形成一个凹凸面。