发明名称 | 模具、模具制造工艺、处理装置和处理方法 | ||
摘要 | 一种用于将图案压印到待处理部件上的模具由以下构成:具有前表面和后表面的模具体,在所述前表面处形成所述图案,所述后表面与所述前表面相对;用于覆盖所述模具体的前表面的涂层;和用于覆盖所述模具体的后表面的涂层。所述用于覆盖所述模具体的后表面的涂层在所述模具体的后表面处部分地具有开口。 | ||
申请公布号 | CN101641281A | 申请公布日期 | 2010.02.03 |
申请号 | CN200880007687.4 | 申请日期 | 2008.03.14 |
申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | 寺崎敦则;关淳一 |
分类号 | B81C1/00(2006.01)I | 主分类号 | B81C1/00(2006.01)I |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 罗银燕 |
主权项 | 1.一种用于将图案压印到待处理部件上的模具,包括:具有前表面和后表面的模具体,在所述前表面处形成所述图案,所述后表面与所述前表面相对;用于覆盖所述模具体的前表面的涂层;和用于覆盖所述模具体的后表面的涂层,其中,所述用于覆盖所述模具体的后表面的涂层在所述模具体的后表面处部分地具有开口。 | ||
地址 | 日本东京 |