| 发明名称 | 一种显影液供给管路 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种显影液供给管路，包括显影液管路、位于显影液管路前端的显影液喷嘴，以及与显影液管路相并联的去离子水管路，该去离子水管路通过安装到显影液管路的控制阀门连接到显影液管路。采用本发明的结构可以使存在于喷嘴内的结晶物排出，及清洁管路内的沉积物，从而降低显影不良的机会。 | ||
| 申请公布号 | CN101639633A | 申请公布日期 | 2010.02.03 |
| 申请号 | CN200810144417.X | 申请日期 | 2008.07.29 |
| 申请人 | 和舰科技（苏州）有限公司 | 发明人 | 鲁旭光;胡清强;陈晓琪 |
| 分类号 | G03F7/32(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人 | 屈小春 |
| 主权项 | 1.一种显影液供给管路，包括显影液管路、位于显影液管路前端的显影液喷嘴，其特征在于，还包括与显影液管路相并联的去离子水管路，该去离子水管路通过安装到显影液管路的控制阀门连接到显影液管路。 | ||
| 地址 | 215025江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号 | ||