| 发明名称 | 无污染旋转工作台 | ||
| 摘要 | 无污染旋转工作台，涉及微电子加工装置，由密封外壳(1)的转动机构和水冷旋转密封工作台(7)的转动机构组成，水冷旋转密封工作台(7)的转动机构被密封在密封外壳(1)中，由力矩电机(2)经齿轮(3)带动水冷旋转密封工作台(7)旋转；密封外壳(1)的转动机构由步进电机(14)、蜗轮(12)、蜗杆(13)、轴承(10)和骨架型橡胶密封圈(11)构成，密封走线管(8)被轴承(10)和骨架型橡胶密封圈(11)可转动地支撑在密封大法兰上；控制线路和水管都经过与密封外壳(1)相连的密封走线管(8)引出。解决冷却水管和线路对真空室的污染问题。 | ||
| 申请公布号 | CN201397807Y | 申请公布日期 | 2010.02.03 |
| 申请号 | CN200920108192.2 | 申请日期 | 2009.05.20 |
| 申请人 | 北京金盛微纳科技有限公司 | 发明人 | 梁聚宝;薛志杰;林红 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京东方汇众知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 朱元萍 |
| 主权项 | 1、一种无污染旋转工作台，由密封外壳(1)的转动机构和水冷旋转密封工作台(7)的转动机构组成，其特征是：水冷旋转密封工作台(7)的转动机构被密封在密封外壳(1)中，力矩电机(2)的齿轮(3)与水冷旋转密封工作台(7)的传动齿轮(16)啮合，水冷旋转密封工作台(7)转轴由轴承(4)、旋转密封套(5)和骨架型橡胶密封圈(6)支撑，旋转水冷接头(15)设置在密封外壳(1)中，所有的控制线路和水管都经过与密封外壳(1)相连的密封走线管(8)引出。 | ||
| 地址 | 100193北京市海淀区东北旺南路28号 | ||