Phase shifting element and particle beam device with phase shifting element

摘要

Die Erfindung betrifft ein phasenschiebendes Element (1) zum Schieben einer Phase zumindest eines Teils eines Teilchenstrahls sowie ein Teilchenstrahlgerät mit einem derartigen phasenschiebenden Element (1). Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein phasenschiebendes Element und ein Teilchenstrahlgerät mit einem phasenschiebenden Element anzugeben, bei denen einen Teilchenstrahl abschattende Bauelemente vermieden werden, so daß ein guter Informationsgehalt erzielt wird, und bei denen der Phasenkontrast im wesentlichen raumfrequenzunabhängig ist. Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß das phasenschiebende Element (1) mindestens ein Mittel (2) zur Erzeugung eines inhomogenen bzw. anisotropen Potentials aufweist. Das erfindungsgemäße Teilchenstrahlgerät ist mit dem phasenschiebenden Element (1) versehen.