| 发明名称 |
Film forming apparatus and method of film formation |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2009250961(A1) |
申请公布日期 |
2010.01.14 |
| 申请号 |
AU20090250961 |
申请日期 |
2009.12.15 |
| 申请人 |
FUJIKURA LTD. |
发明人 |
KENJI GOTO;YASUO SUZUKI;TAKUYA KAWASHIMA;NOBUO TANABA |
| 分类号 |
H01B13/00;C03C17/25;C23C18/02 |
主分类号 |
H01B13/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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