| 发明名称 | 射频匹配方法及等离子体处理设备 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种射频匹配方法及等离子体处理设备，通过射频功率对传感器的输出信号进行校准，由公式(Ⅰ)得出校准后的电压和电流信息，式中M<sub>n×2</sub>＝f(P<sub>rf</sub>)为系数矩阵，随射频功率P<sub>rf</sub>的变化而变化。根据校准后的电压和电流信息进行阻抗匹配，可以减小射频功率对传感器模拟电路的影响，从而使得匹配器可以稳定、精确地工作在更宽的功率范围内。 | ||
| 申请公布号 | CN101626656A | 申请公布日期 | 2010.01.13 |
| 申请号 | CN200810116573.5 | 申请日期 | 2008.07.11 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 武晔 |
| 分类号 | H05H1/46(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I | 主分类号 | H05H1/46(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵镇勇 |
| 主权项 | 1、一种射频匹配方法，其特征在于，包括步骤：首先，传感器采集射频传输线的电压和电流信息，进行处理后给出输出信号；然后，通过射频功率对所述传感器的输出信号进行校准，得出校准后的电压和电流信息；之后，根据所述校准后的电压和电流信息进行阻抗匹配。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 | ||