| 发明名称 | 氮化镓衬底以及氮化镓衬底测试及制造方法 | ||
| 摘要 | 使抗破裂氮化镓衬底和测试并制造这种衬底的方法可用。氮化镓衬底(10)设有被抛光为镜面磨光的正面(12)、与正面(12)相对的衬底侧面上的背面(14)。在背面(14)上形成其厚度d是30μm或以下的损坏层(16)。假定正面(12)的强度是I<sub>1</sub>，以及背面(14)的强度是I<sub>2</sub>，那么比率I<sub>2</sub>/I<sub>1</sub>是0.46或以上。 | ||
| 申请公布号 | CN100580909C | 申请公布日期 | 2010.01.13 |
| 申请号 | CN200710088106.1 | 申请日期 | 2007.03.15 |
| 申请人 | 住友电气工业株式会社 | 发明人 | 八乡昭广 |
| 分类号 | H01L23/00(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;H01L21/30(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L23/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 林宇清;谢丽娜 |
| 主权项 | 1.一种设有第一表面和与第一表面侧相反的衬底侧上的第二表面的氮化镓衬底，该第一表面被抛光为镜面磨光，在该第二表面上形成30μm或以下厚度的损坏层，所述损坏层包括在所述氮化镓衬底的第二表面上的变形和断裂，其中，当负载被施加到所述第一表面时所述氮化镓衬底破裂的作用力被限定为所述第一表面的强度I1，当负载被施加到所述第二表面时所述氮化镓衬底破裂时的作用力被限定为所述第二表面的强度I2，比率I2/I1是0.46或以上。 | ||
| 地址 | 日本大阪府大阪市中央区北浜四丁目5番33号 | ||