Ｐ型氧化锌薄膜制造方法及系统

摘要

本发明系有关一种P型氧化锌薄膜制造方法及系统，其主要是利用射频磁控共溅镀系统，藉以简化制程，并以氧化锌以及氮化铝为共溅镀靶材，藉由改变施加在氧化锌及氮化铝靶材之射频功率，以制作并控制具有不同浓度的铝+氮共掺杂之氧化锌薄膜，以利氮原子在氧化锌薄膜中的掺杂作用，并采用高温制程或后续热处理制程，藉以活化掺杂材料的原子成为较佳的受体或施体离子，进而可供制成具有不同电洞浓度之p型氧化锌薄膜。

主权项

一种p型氧化锌薄膜制造系统，其包括一真空抽气系统、一射频电源供应系统、一溅镀制程腔体、一加热装置以进行升温溅镀制程，及一组气体质流控制器(mass flow controller)以控制溅镀时通入之氩气气体流量，其中，该真空抽气系统包括一组旋转柱塞邦浦(Rotary plunger pumps)及一组涡轮分子邦浦(Turbomolecular pump)；该射频电源供应系统包括一组具有同相位的两个射频电源供应器，其一电源供应器为提供主电源以及脉冲至另一电源供应器，以完成具有同相位且不同射频功率输出之电源，以及两组射频功率匹配箱；该制程腔体的反应室则包含两套射频磁控式溅镀枪、活动遮板(shutter)以及具有冷却装置的试片承载台。