信息处理装置、信息处理方法以及程序

摘要

在以往的信息处理装置中，存在无法根据与半导体过程有关的时间序列数据精度良好地检测半导体过程的状态的问题。本发明具备：第一输入接受部(101)，接受作为与半导体过程有关的时间序列数据的第一信息；第二输入接受部(102)，接受作为与半导体过程有关的时间序列数据的第二信息；窗函数处理部(103)，使用窗函数取出第一信息的规定期间内的信息，得到窗取得信息；相关计算部(109)，计算窗函数处理部(107)取出的窗取得信息与第二信息之间的互相关函数；以及输出部(111)，输出与相关计算部(109)的计算结果相应的信息。

主权项

1.一种信息处理装置，其中，具备：第一输入接受部，接受作为与半导体过程有关的时间序列数据的第一信息；第二输入接受部，接受作为与半导体过程有关的时间序列数据的第二信息；窗函数处理部，使用窗函数取出所述第一信息的规定期间内的信息，得到窗取得信息；相关计算部，计算所述窗函数处理部取出的窗取得信息与所述第二信息之间的互相关函数；以及输出部，输出与所述相关计算部的计算结果相应的信息。