压电泵

摘要

在使用双压电晶片结构的压电元件的膜片式的压电泵中，去除阻碍压电元件的位移的主要原因，提供一种效率高的压电泵。压电泵包括：在与泵本体(10)之间形成泵室(12)的膜片(21)、以及面对面粘接在膜片的表面上的压电元件(22)，压电元件(22)是层叠多个压电体层的双压电晶片型压电元件，在压电元件的厚度方向中间部设置不自发地位移的中性层(22b)。由于包含压电元件的整个膜片的中性面(Fd)位于压电元件的中性层(22b)内，因此压电元件(22)可以高效地位移。

主权项

1.一种压电泵，包括：具有开口部的泵本体；为关闭所述开口部而固定在泵本体、在与泵本体之间形成泵室的膜片；以及面对面粘接在膜片的表面上的压电元件，通过对所述压电元件施加电压，使包含压电元件的膜片弯曲位移，其特征在于，所述压电元件是层叠多个压电体层的双压电晶片型压电元件，所述多个压电体层中，位于所述压电元件的厚度方向中间部位的至少一层是不会由于所述施加电压而自发地位移的中性层，包含所述压电元件的整个膜片的中性面位于所述压电元件的中性层内。