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发明名称 SEMICONDUCTOR PRODUCING DEVICE USING MINI-ENVIRONMENT SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1569271(A4) 申请公布日期 2009.12.30
申请号 EP20030812264 申请日期 2003.02.27
申请人 KONDOH INDUSTRIES LTD.;CAMBRIDGE FILTER JAPAN, LTD. 发明人 KISAKIBARU, TOSHIROU;KOUCHIYAMA, SHIGERU;OKADA, MAKOTO;UENO, KOUTA
分类号 B65G49/00;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/68;H01L21/02;B65G49/07 主分类号 B65G49/00
代理机构 代理人
主权项
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