发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11251467(A) 申请公布日期 1999.09.17
申请号 JP19980049290 申请日期 1998.03.02
申请人 NEC CORP 发明人 YOKOYAMA HIROAKI
分类号 H01L21/762;H01L21/8249;H01L27/06;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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