| 发明名称 | 石英玻璃坩埚及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种石英玻璃坩埚及其制造方法。本发明所提供的石英玻璃坩埚圆形程度高，其用于半导体材料的单晶硅或太阳电池材料的多晶硅等的拉晶。其为用于硅晶的拉晶的石英玻璃坩埚，其特征为，至少在坩埚的壁部，坩埚内表面的圆度Sx和坩埚外表面的圆度Sy相对于和圆度为同一测定高度的最大壁厚M的比都为0.4以下(Sx/M≤0.4、Sy/M≤0.4)，另外，至少在坩埚的壁部，自坩埚内表面的中心到坩埚外表面的中心的距离L为坩埚外表面的最长直径D的0.01倍以下(L≤0.01D)。 | ||
| 申请公布号 | CN101591801A | 申请公布日期 | 2009.12.02 |
| 申请号 | CN200910149741.5 | 申请日期 | 2009.05.27 |
| 申请人 | 日本超精石英株式会社 | 发明人 | 岸弘史 |
| 分类号 | C30B15/10(2006.01)I;C30B28/10(2006.01)I;C03B20/00(2006.01)I | 主分类号 | C30B15/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 岳雪兰 |
| 主权项 | 1、一种石英玻璃坩埚，用于硅结晶的拉晶，其特征在于，至少在坩埚的壁部，坩埚内表面的圆度Sx和坩埚外表面的圆度Sy相对于和圆度为同一测定高度的最大壁厚M的比都为0.4以下，即Sx/M≤0.4，Sy/M≤0.4。 | ||
| 地址 | 日本秋田县 | ||