雷射加工装置

摘要

藉由使至少3个分光射入于1个加工透镜，以提供能高速加工、且加工品质优异(加工孔之形状、大小、精度及真直度)的雷射加工装置。藉由利用入射角不同的全反射／透过型之光束合成机构31c，使偏光方向相同之光束A之光路与光束B之光路大致成同一方向后，藉由偏光型之光束合成机构32，使光束A与光束B之光路、及与此等光路偏向方向不同的光束C之光路大致成同一方向，而射入于加工透镜45。