侦测制程机台使用的消耗性材料厚板寿命的系统及方法

摘要

一种侦测制程机台使用的消耗性材料厚板寿命的系统及方法。提供消耗性材料厚板，其具有至少一指示器。操作制程机台时，通过连接于该指示器的侦测器产生的信号数值判定其是否等于警示设定数值、介于警示设定数值和警报设定数值间、等于警报设定数值或超出警报设定数值。若信号数值等于警示设定数值或介于警示设定数值和警报设定数值间，提供第一警示，表示消耗性材料厚板接近预定量，该预定量小于消耗性材料厚板原本的量。若信号数值介于警示设定数值和警报设定数值间，提供第二警示，表示消耗性材料厚板接近预定量。若信号数值等于或超过警报设定数值，提供警报，表示消耗性材料厚板接近预定量或减少至预定量。本发明可最佳化靶材的利用。

主权项

1.一种侦测制程机台使用的消耗性材料厚板寿命的方法，其特征在于，包括：提供一消耗性材料厚板，其具有至少一指示器；在操作一制程机台时，通过连接于该至少一指示器的一侦测器所产生的信号数值，判定其是否等于一警示设定数值、介于一警示设定数值和一警报设定数值间、等于一警报设定数值或是超出一警报设定数值；若是该信号数值等于该警示设定数值或是介于该警示设定数值和该警报设定数值间，尚包括一步骤，用以提供一第一警示，该第一警示表示该消耗性材料厚板接近一预定量，该预定量小于该消耗性材料厚板原本的量；若该信号数值等于警报设定数值或是超出警报设定数值，更包括一提供一第一警报的步骤，该第一警报表示该消耗性材料厚板接近一预定量，或是减少至该预定量；及若提供该第一警报，该制程机台的操作会停止。