| 摘要 |
본 발명의 일 측면에 따르면, 증착장치의 증발원 상단을 개폐하는 증발원 셔터로서, 일단이 개방된 중공부가 형성되며, 상기 개방된 일단이 상기 증발원 상단에 대향하여 상기 증발원 상단을 커버하는 덮개와; 상기 중공부 내부에 횡방향으로 결합되는 그물망 형상의 메쉬(mesh)를 포함하는 받이부와; 상기 덮개에 결합되며, 상기 증발원 상단을 개폐하도록 상기 덮개를 이동시키는 구동부를 포함하여, 증발원의 상단에 위치한 셔터의 안쪽 면에 증발입자가 응축 또는 응고되어 진공챔버의 내부로 떨어지는 것을 방지할 수 있는 증발원 셔터 및 이를 구비하는 증착장치가 제공된다. |
