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发明名称 REDUCING THE SUSCEPTIBILITY OF TITANIUM NITRIDE OPTICAL LAYERS TO CRACK
摘要
申请公布号 EP1546771(A4) 申请公布日期 2009.11.11
申请号 EP20030797786 申请日期 2003.02.18
申请人 HUPER OPTIK INTERNATIONAL PTE. LTD. 发明人 WOODARD, FLOYD, E.;DAI, YISHENG
分类号 B32B17/10;B32B27/36;C03C17/42;C23C14/56;(IPC1-7):G02B5/28;B05D5/06;B32B7/10;B32B18/00;F21V9/04 主分类号 B32B17/10
代理机构 代理人
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