一种基于二元光学器件的阵列化表面等离子共振传感器芯片

摘要

本发明提出一种基于二元光学器件的表面等离子共振传感器芯片，属于生化传感器技术领域。芯片基底采用透明光学介质，在基底上集成有两组二元光学器件、镜面反射膜(可选)和传感膜阵列。二元光学器件在功能上都相当于柱面透镜或柱面反射镜，其设计和制作可以按照二元光学透镜理论和工艺完成。第一组二元光学器件用于入射光线的角向汇聚，产生多角度入射光束，入射光束经基底表面传感膜反射后，入射到第二组二元光学器件；第二组二元光学器件用于对反射光束进行准直。每组二元光学器件可以包括多个单元，每个单元可以产生一束多度角度入射光或者对一束多角度反射光进行准直；准直后的光束可以直接用于共振角的检测。

主权项

1.一种基于二元光学器件的表面等离子共振传感器芯片；芯片基底采用透明光学介质，在基底上集成有两组二元光学器件、镜面反射膜(可选)和传感膜阵列；二元光学器件在功能上都相当于柱面透镜或柱面反射镜，其设计和制作可以按照二元光学透镜理论和工艺完成；第一组二元光学器件用于入射光线的角向汇聚，产生多角度入射光束，入射光束经基底表面传感膜反射后，入射到第二组二元光学器件；第二组二元光学器件用于对反射光束进行准直；每组二元光学器件可以包还多个单元，每个单元可以产生一束多度角度入射光或者对一束多角度反射光进行准直；准直后的光束可以直接用于共振角的检测。