加速度传感器

摘要

本发明涉及结构简单、制造容易且小型、高灵敏度的加速度传感器。该加速度传感器具备：经由配置于压电振动元件(10)的两主面的一端的一对主面间隔部件(21a、21b)空开间隔而配置的一对主面保护部件(31a、31b)；经由配置于主面保护部件(31a、31b)的另一端的端面的一对端面间隔部件(22a、22b)与所述压电振动元件(10)空开间隔而配置的端面保护部件(32)；经由配置于压电振动元件(10)的两侧面的一端及一对主面保护部件(31a、31b)、端面保护部件(32)、一对主面间隔部件(21a、21b)、端面间隔部件(22a、22b)的两侧面的一对侧面间隔部件(23a、23b)空开间隔而配置的一对侧面保护部件(33a、33b)。

主权项

1.一种加速度传感器，其特征在于，具备：压电振动元件，其为矩形平板状的多个压电基板沿厚度方向层叠而成的压电振动元件，在其两主面分别配置有电荷检测电极；一对主面间隔部件，分别配置于所述压电振动元件的长边方向上的一端的两主面；矩形状的一对主面保护部件，它们长边方向上的一端及另一端的端面与所述压电振动元件的长边方向上的一端及另一端的端面分别位于同一平面上，经由所述一对主面间隔部件与所述压电振动元件的两主面分别空开间隔而配置；一对端面间隔部件，分别配置于所述一对主面保护部件的长边方向上的另一端的端面；端面保护部件，其经由所述端面间隔部件，与所述压电振动元件及所述一对主面保护部件的长边方向上的另一端的端面空开间隔而配置；一对侧面间隔部件，分别配置于所述压电振动元件的长边方向上的一端的两侧面及所述一对主面保护部件和所述端面保护部件的两侧面；一对侧面保护部件，它们经由所述一对侧面间隔部件，与所述压电振动元件、所述一对主面保护部件及所述端面保护部件的两侧面分别空开间隔而配置。