发明名称 FILM FORMING DEVICE, FILM FORMING METHOD, AND METHOD OF PRODUCING ORGANIC EL ELEMENT
摘要
申请公布号 KR100925362(B1) 申请公布日期 2009.11.09
申请号 KR20077016158 申请日期 2006.02.22
申请人 发明人
分类号 C23C14/24;C23C14/04;H01L51/50;H05B33/10 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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