摘要 |
Eine Abdeckung, die eine hohe Abnutzungsresistenz und chemische Resistenz bietet, bestehend aus einer Barriereschicht aus Vanadium, Molybdän, Niobium, Tantal oder Ähnlichem, und einer äusseren Schicht aus Diamant-ähnlichem Kohlenstoff. Die Abdeckung ist besonders vorteilhaft bei Sensoren anwendbar, die auf Schallwellen-Vorrichtungen (AWD) basieren, und für die Passivierung einer Elektrode, wie einer auf einer AWD-Messzone deponierten Elektrode. Die Abdeckung liefert ausgezeichnete mechanische und akustische Charakteristika für die Abdeckung von Schallwellen-Vorrichtungen, die es den Sensoren erlauben, in rauen Umgebungen zu arbeiten.
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