发明名称 Abdeckung für raue Umgebungen und Sensoren, die diese Abdeckung aufweisen.
摘要 Eine Abdeckung, die eine hohe Abnutzungsresistenz und chemische Resistenz bietet, bestehend aus einer Barriereschicht aus Vanadium, Molybdän, Niobium, Tantal oder Ähnlichem, und einer äusseren Schicht aus Diamant-ähnlichem Kohlenstoff. Die Abdeckung ist besonders vorteilhaft bei Sensoren anwendbar, die auf Schallwellen-Vorrichtungen (AWD) basieren, und für die Passivierung einer Elektrode, wie einer auf einer AWD-Messzone deponierten Elektrode. Die Abdeckung liefert ausgezeichnete mechanische und akustische Charakteristika für die Abdeckung von Schallwellen-Vorrichtungen, die es den Sensoren erlauben, in rauen Umgebungen zu arbeiten.
申请公布号 CH698809(B1) 申请公布日期 2009.10.30
申请号 CH20080000065 申请日期 2006.04.20
申请人 DELAWARE CAPITAL FORMATION, INC. 发明人 JEFFREY ANDLE;REICHL B. HASKELL;JOHN H. BRADSHAW
分类号 H01L41/04;G01N29/32 主分类号 H01L41/04
代理机构 代理人
主权项
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