微电动机械系统可变电容器的制造方法

摘要

描述了一种微电动机械系统(MEMS)可变电容器的制造方法，其中，极性相反的可移动的梳状电极被同时制造在同一个衬底上并被独立地操纵。电极以叉指方式被形成，以便尽可能增大电容。此MEMS可变电容器包括与选择性地用于最大应力下的区域中的弹性材料组合的CMOS制造步骤，以便确保变容二极管不会由于可能导致介质材料从导电元件分离的应力而失效。CMOS工艺与通道之间的导电弹性材料的组合增大了总的侧壁面积，这就提供了增大的电容密度。

主权项

1.一种制造微电动机械系统可变电容器的方法，它包含下列步骤：a)在衬底上淀积第一介质层，所述第一介质层具有至少一个腐蚀在其中的空腔；b)借助于用金属填充，然后整平所述至少一个空腔，来形成操纵电极；c)在所述第一介质层上淀积第二介质层，并在其中腐蚀至少一个空腔；d)用牺牲材料填充并整平所述第二介质层中的所述至少一个空腔；e)在所述第二介质层上淀积第三介质层，并在其中腐蚀至少一个空腔；f)借助于用金属填充然后整平所述第三介质层中的所述空腔，来形成一个地平面电极；g)在所述第三介质层的顶部上形成多个金属线条，所述多个金属线条在它们之间用多个导电通道互连以及通过多个导电通道连接到地平面电极；h)在所述各个导电通道之间埋置弹性材料；以及i)选择性地清除所述第三介质层中环绕所述金属线条和所述地平面电极的部分，并将所述牺牲材料腐蚀掉，从而形成多个包括所述金属线条和所述地平面电极的可移动电极。