发明名称 包括LDMOS晶体管的电子器件
摘要 本发明的LDMOS晶体管设有阶梯状屏蔽结构和/或设有第一和第二漏极延伸区,所述第一漏极延伸区具有比第二漏极延伸区高的掺杂剂浓度,并且被屏蔽件覆盖。
申请公布号 CN100555661C 申请公布日期 2009.10.28
申请号 CN200480024299.9 申请日期 2004.08.24
申请人 NXP股份有限公司 发明人 斯蒂芬·J·C·H·特乌温;弗雷克·范雷杰斯;彼得拉·C·A·哈梅斯;伊沃·B·布韦尔;亨德里克斯·F·F·约斯
分类号 H01L29/78(2006.01)I;H01L29/41(2006.01)I;H01L29/08(2006.01)I;H01L29/36(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I 主分类号 H01L29/78(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 王波波
主权项 1、一种电子器件,包括设置在半导体衬底(10)的表面(11)上的晶体管(100),该晶体管具有通过沟道(21)相互连接的源极(120)和漏极(220),该晶体管(100)还设有用于影响所述沟道(21)中的电子分布的栅电极(43)以及位于所述栅极(43)和所述漏极(220)之间的屏蔽件(50),该漏极(220)设有在所述衬底(10)中朝向所述沟道(21)延伸的漏极延伸区(25、26),所述漏极(220)具有接触件(41),所述漏极接触件(41)和所述栅极(43)通过延伸区(140)彼此分开,其特征在于:所述屏蔽件(50)在所述延伸区(140)中具有阶梯状结构,并具有倒置的L形部分(50A)、以及Z形部分(50B)。
地址 荷兰艾恩德霍芬