| 摘要 |
Структура маски рентгеновской литографии для LIGA-технологии, закрепленная в металлическом держателе посредством адгезива, состоящая из топологического рисунка абсорбера рентгеновского излучения, опорной пленки и пластины, отличающаяся тем, что опорная пленка однослойная, изготовлена из полиимида и расположена поверх топологического рисунка абсорбера, причем пластина выполнена из полупроводникового материала, а держатель имеет выточенные посадочные места и отверстия, соответствующие размерам областей масок с топологическим рисунком, и позволяет одновременно закреплять маски различных форм и размеров, при этом отверстия под вклеенным шаблоном расточено под конус. |
