SINGLE TYPE SUBSTRATE TREATING APPARATUS AND CLEANING METHOD THEREOF,申请号KR20070086907-传众专利搜索

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发明名称	SINGLE TYPE SUBSTRATE TREATING APPARATUS AND CLEANING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号	KR100923268(B1)	申请公布日期	2009.10.23
申请号	KR20070086907	申请日期	2007.08.29
申请人		发明人
分类号	H01L21/304	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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