直接从移动运输装置上卸载基片载体的基片载体搬运器

摘要

在本发明的第一方面中，一基片加载站用于连续传送基片载体的运输装置。一个基片载体搬运器作为该基片加载站的一部分，对其进行操作从而和运输装置交换基片载体同时基片载体在运动中。载体交换过程可以包括使基片载体搬运器的端部操作装置以与运输装置的速度大体上相匹配的速度来运动。本发明还提供了许多其它的方面。

主权项

1.一种用于向加工工具提供基片的装置，其包括：基片载体搬运器，其用于向该加工工具的第一加载端口传送基片载体，该基片载体搬运器包括一个用于支撑基片载体的端部操作装置；以及控制器，其与该基片载体搬运器联接并可操作地控制该基片载体搬运器，这样当基片载体在运动中并由基片载体运输装置传送时，该基片载体搬运器的端部操作装置可使该基片载体从该基片载体运输装置上脱离开，该控制器可操作地控制该基片载体搬运器，这样在基片载体从该基片载体运输装置上脱离的至少一部分过程中，使得该基片载体搬运器的端部操作装置与该基片载体的运动相匹配。