双频RF匹配

摘要

提供了一种用于具有双频阴极的等离子增强型半导体处理腔的双频匹配电路(108)。该匹配电路包括具有结合到公共输出(212)的可变分路(C1、C4)的两个匹配电路(202-204)。在工作期间，匹配电路使独立RF源的负载与处理腔中的等离子体的负载相平衡。

主权项

1.半导体衬底处理腔中的一种用于使耦合到单个电极的一对RF源的阻抗与等离子体的阻抗相匹配的装置，包括：第一子电路，用于使由第一RF源生成的第一可变频率RF信号的阻抗与所述等离子体的阻抗相匹配；以及第二子电路，用于使由第二RF源生成的第二可变频率RF信号的阻抗与所述等离子的阻抗相匹配，所述第二子电路连接到所述第一子电路以形成耦合到所述电极的公共输出；其中所述第一和第二子电路各自还包括至少一组固定的串联组件和至少一个连接到地的可变分路组件，并且其中由所述第一子电路限定的第一匹配调谐空间可以在不影响由所述第二子电路限定的第二匹配调谐空间的情况下被改变。