电路基板的检查装置以及电路基板的检查方法

摘要

提供很好地吸收被检查电路基板的被检查电极的高度不匀，并且即便被检查电极是微细的间距，也能够确保邻接的检查电极之间的绝缘性的电路基板的检查装置以及电路基板的检查方法。在中继销单元31上设置中间保持板36，然后将配置在第1绝缘板34和中间保持板36之间的第1支撑销33的相对于中间保持板的第1触接支撑位置38A，和配置在第2绝缘板35和中间保持板36之间的第2支撑销37的相对于中间保持板36的第2触接支撑位置38B，在中间保持板36的沿着厚度方向投影的中间保持板投影面上，配置在不同的位置上。另外，在间距变换用基板23的被检查电路基板侧，配置以可以沿着该基板的厚度方向移动的方式保持贯通基板的多个刚性导体电极的中继基板29，同时在其两面侧配置较薄的分散型各向异性导电性片22、22，以使得经由分散型各向异性导电性片22、22用中继基板29中继间距变换用基板23和被检查电路基板1的电连接。

主权项

1.一种电路基板的检查装置，通过一对第1检查夹具和第2检查夹具，在两个检查夹具之间夹紧作为检查对象的被检查电路基板的两面而进行电检查，其特征在于：所述第1检查夹具和第2检查夹具分别具备电路基板侧连接器、中继销单元和测试器侧连接器，其中：电路基板侧连接器具备：间距变换用基板，在该间距变换用基板的基板的一面侧和另一面侧之间变换电极间距；中继基板，配置在所述间距变换用基板的被检查电路基板侧，以可以沿着该中继基板的基板的厚度方向移动的方式保持贯通该中继基板的基板的多个刚性导体电极，并利用所述刚性导体电极中继所述间距变换用基板的检查电极和所述被检查电路基板的被检查电极的电连接；配置在所述中继基板的一面侧以及另一面侧、导电性粒子沿着厚度方向配列、同时沿着面方向均匀地分散的一对第1各向异性导电性片；和配置在所述间距变换用基板的与被检查电路基板相反的一侧的第2各向异性导电性片，中继销单元具备：以规定的间距配置的多个导电销；和以可以向轴方向移动的方式支撑所述导电销的、一对分离的第1绝缘板和第2绝缘板，测试器侧连接器具备：将测试器和所述中继销单元电连接的连接器基板；配置在所述连接器基板的与中继销单元侧同一侧的第3各向异性导电性片；和配置在所述连接器基板的与中继销单元相反的一侧的底板，所述中继销单元具备：配置在所述第1绝缘板和第2绝缘板之间的中间保持板；配置在所述第1绝缘板和中间保持板之间的第1支撑销；和配置在所述第2绝缘板和中间保持板之间的第2支撑销，并且所述第1支撑销的相对于中间保持板的第1触接支撑位置和所述第2支撑销的相对于中间保持板的第2触接支撑位置，在中间保持板的沿着厚度方向投影的中间保持板投影面上被配置在不同的位置上。