发明名称 无污染大面积镀制银镜的方法
摘要 本发明涉及新材料及表面技术领域,尤其涉及无污染大面积镀制银镜的方法。它包括以下步骤:设置一个中频直流复合磁控溅射装置,其包括直流平面磁控溅射银靶和可更换的中频孪生磁控溅射靶;通过直流平面磁控溅射银靶在工件表面镀制银膜;通过中频孪生磁控溅射靶在工件表面镀制化合物膜;所述工件为玻璃。本发明的方法环保,且工艺简单,所得产品寿命长。
申请公布号 CN101544473A 申请公布日期 2009.09.30
申请号 CN200910096551.1 申请日期 2009.03.06
申请人 湖州金泰科技股份有限公司 发明人 钱苗根
分类号 C03C17/09(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I 主分类号 C03C17/09(2006.01)I
代理机构 湖州金卫知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 纪 元;赵卫康
主权项 1、一种无污染大面积镀制银镜的方法,包括以下步骤:(1)设置一个中频直流复合磁控溅射装置,其包括直流平面磁控溅射银靶和可更换的中频孪生磁控溅射靶;(2)通过直流平面磁控溅射银靶在工件表面镀制银膜;(3)通过中频孪生磁控溅射靶在工件表面镀制化合物膜;所述工件为玻璃。
地址 313000浙江省湖州市吴兴区金泰路1888号