气流控制器之原地测试方法及装置

摘要

本发明提供的方法及装置利用在一气流控制器（GFC）之上游侧所发生之压力下降，来正确量测通过该GFC之气体流量。本发明可以量测通过时下使用在生产的多数气流控制器的气体流量，而不需使用任何特殊或精密的压力规制器，或其他特殊元件。本发明提出数种作法，以确保在量测过程中或其后所发生的压力变动，不会扰乱到通过该受测GFC之气流之固定流量。