纳米级别图形的压印制造方法及其装置

摘要

一种纳米级别图形的压印制造方法，其特征在于利用吸盘吸附的方式提高了模版和待压印物的硬度，同时利用吸盘的预压使压印时压力分布均匀。在装卡模版和待压印物时，可利用光学传感器对模版和待压印物进行对准。应用本发明方法的装置包括保证上下真空吸盘表面相对平行且单一方向可控运动，使模版和待压印物相对可控运动，确保其压力均匀防止图形错位变形的运动保证可控组件；可将旋转扭矩变成吸附组件相互间的压力，并可恒压的压力控制组件；可控制加热温度以及绝热的温度控制组件；可吸附模版和待压印物，并可根据需要改变适当的形状的吸附组件。本发明可使设备成本降低，可靠实用，并操作方便。

主权项

1、一种纳米级别图形的压印制造方法，其特征在于：采用平面真空吸盘吸附方式将模版[1]和待压印物[2、3]分别装卡在上下两个真空吸盘[17、18]吸附表面，使压印时上真空吸盘[17]、下真空吸盘[18]分别吸附模版[1]与待压印物[2、3]，上真空吸盘[17]与模版[1]，下真空吸盘[18]与待压印物[2、3]分别形成一体；压印前，首先加压上下真空吸盘[17、18]，使其吸附表面完全接触，此时用上真空吸盘[17]上部与花键导向杆[14]连接的圆形套筒上凹槽周向均布的四个螺栓将其与花键导向杆[14]锁死刚性连接，用下真空吸盘[18]周向均布的四个螺栓将下真空吸盘[18]与台架底座上支撑板[10]锁死刚性连接，使上下吸盘只能作相对上下单一方向运动，然后撤销压力抬起上真空吸盘[17]，在上下真空吸盘吸附表面上装卡模版[1]与待压印物[2、3]，此时便可以通过控制温度控制组件进行加热加压开始压印；在装卡模版[1]和待压印物[2、3]的时候，可利用光学传感器对模版[1]和待压印物[2、3]进行对准，通过先吸附固定模版[1]，再移动待压印物[2、3]对准；亦可先吸附固定待压印物[2、3]，再移动模版[1]对准。