发明名称 METHOD OF INSPECTING OPERATION OF A TEST HANDLER
摘要
申请公布号 KR100917021(B1) 申请公布日期 2009.09.10
申请号 KR20070119981 申请日期 2007.11.23
申请人 发明人
分类号 G01R31/3183;G01R31/26;G01R31/3181;H01L21/66 主分类号 G01R31/3183
代理机构 代理人
主权项
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