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发明名称
METHOD OF INSPECTING OPERATION OF A TEST HANDLER
摘要
申请公布号
KR100917021(B1)
申请公布日期
2009.09.10
申请号
KR20070119981
申请日期
2007.11.23
申请人
发明人
分类号
G01R31/3183;G01R31/26;G01R31/3181;H01L21/66
主分类号
G01R31/3183
代理机构
代理人
主权项
地址
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