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发明名称
摘要
申请公布号
JP4329474(B2)
申请公布日期
2009.09.09
申请号
JP20030342953
申请日期
2003.10.01
申请人
发明人
分类号
C23C16/52;H01L21/205;H01L21/66
主分类号
C23C16/52
代理机构
代理人
主权项
地址
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