一种测量镀膜玻璃薄膜光学参数的方法

摘要

本发明涉及一种测量镀膜玻璃薄膜光学参数的方法，包括如下步骤：建立薄膜厚度h、折射率n、消光系数k与薄膜透射率、反射率的函数关系，与实测镀膜玻璃的可见光透射、反射光谱联立构成曲线拟和问题，利用模拟退火法、牛顿迭代法相结合的两步法求解这个曲线拟和问题，从而获得薄膜光学参数的测量结果。本发明与已有的相应技术相比，更适于镀膜玻璃薄膜的测量，具有快速准确的测量效果，测量结果稳定，而且方法简便易行，成本低廉。

主权项

1、一种测量镀膜玻璃薄膜光学参数的方法，其特征是步骤如下：测量镀膜玻璃在可见光垂直入射状态下的透射和反射光谱，分别记为Tm、Rm，利用矩阵法获得垂直入射状态下的薄膜透射和反射光谱关于n、k和薄膜厚度h的参数式，记为Tc(n，k，h)、Rc(n，k，h)，并将n和k展开为入射光波长λ的函数，建立Tc(n，k，h)、Rc(n，k，h)与Tm、Rm最小二乘形式的拟和参数式，如式(1)所示，求解式(1)，得到使f(n，k，h)为最小值的一组参数n，k和h，就是测量获得的镀膜玻璃薄膜光学参数。