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发明名称 CONSTITUTIONAL MEMBER FOR SEMICONDUCTOR PROCESSING APPARATUS AND METHOD FOR PRODUCING SAME
摘要
申请公布号 KR100915722(B1) 申请公布日期 2009.09.04
申请号 KR20077015352 申请日期 2006.06.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/205 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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