正型感光性组成物，正型永久光阻及正型永久光阻之制造方法

摘要

本发明系提供可赋予不仅具有高透明性，且具有耐基板制作时之温度的耐热性、耐溶剂性及作为永久光阻用具有优良耐经时变化的绝缘层之正型感光性组成物，使用该正型感光性组成物之正型永久光阻及正型永久光阻之制造方法。即，含有下述一般式（1）#P 097143903P01.bmp所表示的环状矽氧烷化合物之1种以上，与下述一般式（2）#P 097143903P02.bmp所表示的芳基烷氧基矽烷化合物之1种以上反应而得的构造之（A）具有矽烷醇基的硬化性聚矽氧烷树脂，（B）重氮　类及（C）溶剂的正型感光性组成物，使用该正型感光性组成物之正型永久光阻及正型永久光阻之制造方法。