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发明名称
SUBSTRATE CARRIER SYSTEM
摘要
A substrate carrier system is provided for physical management of substrate(s) during a variety of assembly techniques performed on the both sides of the substrate(s) without dismounting or changing carrier systems.
申请公布号
US2009214323(A1)
申请公布日期
2009.08.27
申请号
US20080038338
申请日期
2008.02.27
申请人
UNIVERSAL INSTRUMENTS CORPORATION
发明人
HARVILCHUCK LAURENCE A.;WESTBY GEORGE R.
分类号
H01L21/677
主分类号
H01L21/677
代理机构
代理人
主权项
地址
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