发明名称 |
一种高电子迁移率氧化铟透明薄膜的制备方法 |
摘要 |
一种高电子迁移率氧化铟透明半导体薄膜的制备方法,采用双室高真空射频磁控溅射法,是以纯度99.99%的高纯氧化铟为靶材,玻璃等为衬底,以纯度99.99%以上的高纯氩气、氧气的一种或二种为溅射气体,在磁控溅射装置中进行溅射生长,得到具有不同电子浓度和高电子迁移率的n-型透明In<sub>2</sub>O<sub>3</sub>半导体薄膜材料。该方法具有沉积参数简单易控,制备工艺可靠,重复性好,制造成本低的优点。 |
申请公布号 |
CN101514440A |
申请公布日期 |
2009.08.26 |
申请号 |
CN200910096188.3 |
申请日期 |
2009.02.19 |
申请人 |
浙江大学 |
发明人 |
吴惠桢;朱夏明;原子健 |
分类号 |
C23C14/08(2006.01)I;C23C14/18(2006.01)I;C03C17/245(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/08(2006.01)I |
代理机构 |
杭州中成专利事务所有限公司 |
代理人 |
盛辉地 |
主权项 |
1、一种高电子迁移率氧化铟透明半导体薄膜的制备方法,采用双室高真空射频磁控溅射法,在磁控溅射装置中进行溅射生长,磁控溅射装置的进样室用于基底材料上载和下载,衬底表面的清洁处理,生长室用于溅射沉积薄膜,其特征是:以纯度99.99%的高纯氧化铟为靶材,玻璃为衬底,以纯度99.99%以上的高纯氩气、氧气的一种或二种混合气体为溅射气体,采用不同的溅射气体成分、不同射频功率、不同衬底温度和不同的沉积时间,结合真空中退火处理,获得性能不同的氧化铟透明半导体薄膜;薄膜的厚度范围5nm~1300nm,薄膜的电子浓度在1016~1019cm-3范围内可控,电子迁移率可大于10cm2/V·s;制备步骤如下:A、先将衬底表面清洗后放入磁控溅射装置的进样室中,当真空度抽到至少2×10-3Pa时,在进样室中对衬底进行除气,气压优于5×10-4Pa除气后,将衬底传入生长室中;B、当生长室气压降至5×10-4Pa以下时,开钢瓶气阀、气路截至阀,调节流量充入氩气和氧气,其中氩气和氧气的分压比,根据所需的载流子浓度进行调节;C、开靶材挡板,打开衬底挡板,调节射频功率、生长气压、生长温度、进行溅射生长,获得氧化铟半导体薄膜。 |
地址 |
310027浙江省杭州市西湖区玉古路20号 |