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发明名称
Chemically amplified resist composition
摘要
申请公布号
GB2445275(B)
申请公布日期
2009.08.26
申请号
GB20070025099
申请日期
2007.12.21
申请人
SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED
发明人
KAORU ARAKI;SATOSHI YAMAGUCHI;SATOSHI YAMAMOTO
分类号
G03F7/004;C07C381/00
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
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