一种清腔刷头

摘要

本实用新型涉及一种清腔刷头，用于清理MOCVD设备喷头表面的残痕。该清腔刷头包括轮毂及沿轮毂宽度方向上设置的软刷毛，其中，所述轮毂内设有支撑，该支撑上设有与所述软刷毛平行的硬刷毛。这样在清理的过程中轻轻用力后，支撑上的硬刷毛与欲清洗物接触并将其上的残屑刷下，随后轮毂上的软刷毛会将其轻轻刷走并限制在整个清腔刷头内部，通过清腔刷头后端接的抽滤装置就可以将残屑干净、彻底的清理。

主权项

1. 一种清腔刷头，用于清理M0CVD设备喷头表面的残痕，该清腔刷头包括轮毂及沿轮毂宽度方向上设置的软刷毛，其特征在于：所述轮毂内设有支撑，该支撑上设有与所述软刷毛平行的硬刷毛。