防氧化物料切割方法及装置

摘要

本发明公开了一种防氧化物料切割方法及装置，本发明方法是将切割物料置于一封闭箱体内，对封闭箱体抽真空后再充入阻隔防氧化气体，通过置于箱体内的切割设备进行防氧化切割。所述阻隔防氧化气体为氮气或二氧化碳之一或其混合气体，气体浓度为80％～100％。本发明方法可排除或隔绝可封闭箱体内的氧化剂物质与被切割物料的接触，并通过冷却破坏氧化反应发生的温度条件，从而达到阻隔防氧化效果。适用于单晶硅、多晶硅等贵重物料的切割，便于切割屑回收。本发明装置结构简单、成本低廉、便于操作、手动及自动方式均可且防氧化效果显著。

主权项

1、一种防氧化物料切割方法，其特征在于：包括以下步骤：(1.1)设定箱体内真空压力值；(1.2)设定被切物料氧化最低温度和给定的安全裕量，计算防氧化温度阀值和滞回温度阀值，滞回温度阀值≤冷却温度≤防氧化温度阀值；(1.3)设定箱体内阻隔防氧化气体的浓度和压力值；(1.4)装入被切割物料后封闭该箱体；(1.5)真空抽排气设备将箱体内的氧化剂物质排出，检测箱体内真空压力，若不符合设定要求，真空抽排气设备继续抽气，符合设定要求，真空抽排气设备关闭；(1.6)充气设备通过箱体的开口充入阻隔防氧化气体，检测箱体内阻隔防氧化气体的压力和浓度，若不符合要求则继续充气，符合要求则封闭箱体，使箱体处于密封状态；(1.7)检测被切物料在物料输送定位操作平台上的位置，若不符合要求则继续调整，符合要求则切割设备进行切割，冷却设备喷射冷却介质进行冷却，切割屑落入切割屑回收器，冷却介质经冷却介质回收器收集到冷却介质回收设备；(1.8)对切割设备的刀口或其环境温度进行实时监测，若实测温度高于防氧化温度阀值则触发降温信号，冷却设备增大冷却介质的喷射速度或流量，或者切割设备减少进刀深度，或者冷却介质的喷射速度、流量和进刀深度联合调整；若实测温度低于滞回温度阀值则触发回调信号，冷却设备减少冷却介质的喷射速度或流量，或者切割设备增大进刀深度，或者冷却介质的喷射速度、流量和进刀深度联合调整；(1.9)输出已完成切割的被切割物料。