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发明名称 Verfahren zur Bestimmung der Laage eines scheibenförmigen Substrates relativ zu einem anlageninternen Koordinatensystem einer Elektronenstrahl-Belichtungsanlage
摘要
申请公布号 DE112007002770(A5) 申请公布日期 2009.08.20
申请号 DE200711002770T 申请日期 2007.07.19
申请人 VISTEC ELECTRON BEAM GMBH 发明人 ALVES, HELDER;JAHR, STEFFEN
分类号 H01J37/317 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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