用于真空处理单元的闸室设备及其操作方法

摘要

本发明涉及一种多级闸室设备，具有至少两个、优选的是两个或三个闸室、主要用于排空第一闸室的第一泵组(P1)和主要用于排空第二闸室的第二泵组(P2、P3)，第一泵组(P1)可以排空第一和第二闸室、或将二者共同排空，第一泵组还可用作第二泵组的前置泵站。预见到集成第三泵组(P4)，其可用作第二泵组和/或第一泵组的前置抽吸站。或者，提供至少一个缓冲单元，其缓冲体积用来利用压强平衡在闸室内部产生压强的迅速减小。有可能根据不同闸室的需要，在可变的基础上调整所有泵组的抽吸容量，以便分别获得缩短的时钟周期或循环时间，或者在进气或出气过程的给定时钟周期或循环时间处降低通过压强。

主权项

1.一种用于真空处理厂的闸室设备，其具有：至少两个按顺序布置在该真空处理厂内的闸室(EK1、EK2)，用于执行两级或多级压强平衡过程，所述两个闸室(EK1、EK2)通过阀门塞(VK2)彼此分开；第一泵组(P1)，用于排空第一闸室；以及第二泵组(P2、P3)，用于排空第二闸室，其特征在于：所述第一泵组(P1)通过可封闭的管道(1、2)与按顺序布置的第一(EK1)和第二(EK2)闸室二者连接，使得第一泵组排空第一或第二或全部闸室。