基于液体介质的振动式静电微型发电机及其阵列

摘要

本发明提出一种基于液体介质的振动式静电微型发电机，由两个可变电容器和处理电路组成。可变电容器由上极板、下极板、驻极体、衬底和微液体介质构成。其中中衬底、上衬底和下衬底，形成电容器腔体，驻极体加工在电容器腔体的内下表面，两个电容器的上极板并列加工在电容器腔体的内上表面。微液体介质装在电容器腔体内。电容器腔体的内表面根据液体介质性质溅射形成有疏水或疏油介质薄膜。两个电容器的上极板连为一体，作为公共上极板，也作为驻极体的背电极。两个下极板和公共上极板分别设有引出电极连接到处理电路。本发电机采用液体为可变电容器介质，在振动环境中，液体介质移动，引起电容变化，使电荷在电容器极板之间的转移，从而实现机械能向电能的转换。

主权项

1、基于液体介质的振动式静电微型发电机，包括有两个可变电容器和一个处理电路；其特征在于：所述可变电容器由上极板、下极板、驻极体、衬底和微液体介质构成；其中衬底有上中下三部分，中衬底(7)中间是上下相通的空腔，上下分别键合覆盖有上衬底(12)和下衬底(5)，形成电容器腔体；驻极体(1)加工在电容器腔体的内下表面，即上衬底(12)的下表面，两个可变电容器的下极板(2、4)采用金属剥离工艺或腐蚀工艺并列加工在电容器腔体的内上表面，即下衬底(5)的上表面，电容器腔体的内表面溅射形成有疏水或疏油介质薄膜层(6)，微液体介质装在电容器腔体内，在电容器腔体内运动；两个可变电容器的上极板连为一体，采用金属剥离工艺或腐蚀工艺加工在上衬底(12)的上表面，形成公共上极板(9)，同时作为驻极体(1)的背电极；两个下极板(2、4)和公共上极板(9)分别设有引出电极连接到处理电路(13)。