发明名称 |
使用照相机用于机械手校准的方法和系统 |
摘要 |
本发明公开一种使用照相机用于机械手校准的方法和系统。在一个实施例中,用于执行机械手校准的方法包括人工校准关于目标对准的机械手叶片的中心。该方法进一步包括记录关于照相机对准的机械手叶片的中心的第一位置值。该方法进一步包括自动确定关于照相机对准的机械手叶片的中心的第二位置值。该方法进一步包括根据第二位置值和第一位置值之间的偏移量超过第一位置值的容许偏移量来自动重新校准机械手叶片。 |
申请公布号 |
CN101508111A |
申请公布日期 |
2009.08.19 |
申请号 |
CN200810168640.8 |
申请日期 |
2008.08.29 |
申请人 |
应用材料公司 |
发明人 |
赛卡尔·克里斯娜萨米;维杰依·撒卡利;莫德凯·赖斯卡;唐纳德·佛丹纳尔;里奈特·史姆什 |
分类号 |
B25J9/16(2006.01)I;G05B19/401(2006.01)I |
主分类号 |
B25J9/16(2006.01)I |
代理机构 |
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
赵 飞;南 霆 |
主权项 |
1、一种重新校准机械手的方法,包括:人工校准与目标对准的机械手叶片的中心;记录与照相机站对准的机械手叶片的中心的第一位置值;自动确定与照相机站对准的机械手叶片的中心的第二位置值;以及根据第二位置值和第一位置值之间的偏移量超过第一位置值的容许偏移量来自动重新校准机械手叶片。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |