发明名称 Polishing pad and method of manufacturing the same
摘要
申请公布号 KR100912102(B1) 申请公布日期 2009.08.13
申请号 KR20070094491 申请日期 2007.09.18
申请人 发明人
分类号 C08L67/00;B24B37/00;B24B37/24;H01L21/304 主分类号 C08L67/00
代理机构 代理人
主权项
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