电子束蒸发速率自动控制设备及其控制方法

摘要

一种用于光学镀膜机的电子束蒸发速率自动控制设备及其控制方法，该设备包括蒸发速率探测部分、电子枪灯丝电压调节部分、开关量输入输出部分以及一台程序控制的计算机。该程序控制的计算机从速率探测器获得即时蒸发速率，据此得一控制信号，该控制信号经灯丝电压调节部分输出加载在灯丝两端对蒸发功率进行实时调节从而控制蒸发速率。在此过程中控制程序能接收外界的输入并做出相应的响应。本发明能对电子枪的蒸发速率进行自动反馈控制，整个设备在速度、精度及可靠性上大大提高，也提高了智能化程度。

主权项

1、一种用于电子束蒸发镀膜机的电子束蒸发速率的自动控制设备，其特征在于该设备包括：蒸发速率探测器(3)，该蒸发速率探测器(3)的晶振探头(31)置于电子束蒸发镀膜机的真空室(9)内，以探测电子束蒸发速率；数据采集卡(2)；电子枪灯丝电压调节机构，由所述的数据采集卡(2)的数模转换器(21)、晶闸管智能调压模块(4)和电子枪灯丝变压器(5)构成，该数模转换器(21)的输出端接所述的晶闸管智能调压模块(4)的控制端，该晶 闸管智能调压模块(4)输入端接220V交流电，其输出端接在所述的电子枪灯丝变压器(5)的原边，该电子枪灯丝变压器(5)的副边接所述的电子枪灯丝(7)的两端；开关量输入输出机构，包括所述的数据采集卡(2)的数字输入口(22)和数字输出口(23)，该数字输入口(22)接收外界的高低电平输入，该数字输出口(23)通过挡板控制模块(6)与真空室(9)内的挡板(8)相连；具有控制程序的计算机(1)，所述的数据采集卡(2)接该计算机(1)，所述的蒸发速率探测器(3)接计算机(1)的串口(11)。