光阻液供应回收系统及光阻液回收方法

摘要

本发明提供一种与以往相比可大幅提高光阻液的回收效率，可降低回收成本并且提高光阻液的再利用率的系统及方法。光阻液供应回收系统包括：旋转涂布机250等光阻液涂布装置；作为规定容量的供应兼回收容器的专用容器1，其兼用于向光阻液涂布装置供应光阻液的目的、以及从光阻液涂布装置回收已用过的光阻液的目的；供应配管，其在供应光阻液时使用，可与专用容器1以气密状态连接；以及回收配管253，其在回收已用过的光阻液时使用，可与专用容器1以气密状态连接。由此，可省去使用者方面进行回收或再利用的设备负担，从而可大幅削减回收费用与劳力。

主权项

1. 一种光阻液供应回收系统，其包括：光阻液涂布装置；规定容量的供应兼回收容器，其兼用于向所述光阻液涂布装置供应光阻液的目的、以及从所述光阻液涂布装置回收已用过的光阻液的目的；供应配管，其在供应所述光阻液时使用，可与所述供应兼回收容器以气密状态连接；以及回收配管，其在回收所述已用过的光阻液时使用，可与所述供应兼回收容器以气密状态连接。