回收氟的方法

摘要

使废气，尤其系来自半导体工业中所使用的制程中的那些废气（例如来自用元素氟蚀刻矽晶片或清洁处理室），与金属或金属化合物接触，该金属或金属化合物与包含在这些废气混合物中的氟反应形成包含可逆结合的氟的金属氟化物。较佳地，应用氟化锰，其形成四氟化锰，四氟化锰进而又可以被加热以分离出元素氟。该方法可回收适合于再使用之纯的形式之元素氟。